TEL Tokyo Electron 381-640841-3數字輸入模塊 PDF資料
1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：
中文資料：
產(chǎn)品名稱(chēng)：TEL Tokyo Electron 381-640841-3 數字輸入模塊
產(chǎn)品類(lèi)型：數字量輸入模塊（Digital Input Module）
制造商：Tokyo Electron Ltd.
一、主要功能：
381-640841-3 是一款用于TEL半導體設備中的數字輸入模塊，負責采集外部的開(kāi)關(guān)量信號，例如：
安全門(mén)開(kāi)閉檢測
機械限位開(kāi)關(guān)狀態(tài)
氣壓或真空傳感器開(kāi)關(guān)狀態(tài)
流量閥開(kāi)關(guān)狀態(tài)
IO控制設備的狀態(tài)反饋
二、技術(shù)特性（根據TEL模塊通用設計推測）：
輸入類(lèi)型：數字量信號（干接點(diǎn)或電壓輸入，一般為24V DC）
通道數：可能為8、16或32路輸入通道
信號隔離：光耦隔離
安裝方式：背板插卡式，專(zhuān)用于TEL設備內部控制系統
通訊方式：通過(guò)TEL設備主控制平臺（如PLC、工控主板）與其它模塊協(xié)作通信
三、應用場(chǎng)景：
此模塊通常用于以下Tokyo Electron設備：
涂膠顯影機（Coater/Developer）
CVD、Etch、PVD 系統
晶圓搬運和載片系統
腔體控制系統
安全互鎖邏輯控制回路
英文資料：
Product Name: TEL Tokyo Electron 381-640841-3 Digital Input Module
Product type: Digital Input Module
Manufacturer: Tokyo Electron Ltd
1、 Main functions:
381-640841-3 is a digital input module used in TEL semiconductor equipment, responsible for collecting external switch signals, such as:
Safety door opening and closing detection
Mechanical limit switch status
Air pressure or vacuum sensor switch status
Flow valve switch status
Status feedback of IO control devices
2、 Technical characteristics (inferred from the universal design of TEL module):
Input type: Digital signal (dry contact or voltage input, usually 24V DC)
Number of channels: possibly 8, 16, or 32 input channels
Signal isolation: Optocoupler isolation
Installation method: Backboard plug-in card, specifically designed for internal control systems of TEL devices
Communication method: Collaborate and communicate with other modules through the TEL device main control platform (such as PLC, industrial control motherboard)
3、 Application scenarios:
This module is typically used for the following Tokyo Electron devices:
Coater/Developer
CVD, Etch, PVD systems
Wafer handling and wafer loading system
Cavity control system
Safety interlock logic control circuit
2.產(chǎn) 品 展 示
3.其他產(chǎn)品
4.其他英文產(chǎn)品
RADISYS 061-05927-0031 adapter module
KOLLMORGEN S70602-NANANA servo/driver
ASEA ES1530b module card board
| R88SENA-R2-NS-NV-03 | SC323A-024 | S32HNBA-RNVM-00 |
| R88HENA-R2-NS-NV-00 | SC403-017-T4 | SC102-001-T3 |
| R88GSNF-TS-M2-NV-04 | SC101-001 | S31GMNA-RNNM-00 |
| R88GENA-R2-NS-NV-00-3 | SC402-023-T4 | SC103-001-T1 |
| R88GENA-R2-NS-NV-00 | SC402-012-T4 | SC103-001-T3 |
| R86HENA-R2-NS-NV-00 | SC323A031 | S32GNNH-RNNM-00 |
| R86GENA-R2-NS-NV-00 | SC402-024 | SC101-001-T2 |
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