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Tokyo Electron 3281-000138-12控制板 PDF資料 

1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：

中文資料：

產(chǎn)品名稱(chēng)：3281-000138-12 控制板
制造商：Tokyo Electron (TEL)
產(chǎn)品類(lèi)型：電子控制板模塊

一、產(chǎn)品概述

3281-000138-12 控制板是用于東京電子半導體設備中的控制核心組件之一，主要承擔設備邏輯控制、信號處理和通信協(xié)調等功能。

二、主要功能

1. 控制設備運行流程，如開(kāi)關(guān)控制、動(dòng)作協(xié)調等。

2. 接收和發(fā)送數字/模擬信號，實(shí)現對現場(chǎng)傳感器與執行器的實(shí)時(shí)控制。

3. 與上位系統或主控計算機通信，交換狀態(tài)和參數數據。

4. 支持設備參數設定、故障反饋、報警聯(lián)動(dòng)等功能。

三、適用設備（可能包括）

• TEL 干法蝕刻設備

• TEL PVD/CVD 薄膜沉積設備

• TEL 涂膠顯影設備（Coater/Developer）

• TEL 拋光設備（如 CMP）等

四、技術(shù)特性（通用控制板參考）

• 輸入電壓：常見(jiàn)為 24V DC

• 接口類(lèi)型：RS-232、485、數字IO、模擬IO（依據版本）

• 處理器：嵌入式控制器或FPGA

• 安裝方式：機架式插槽或獨立固定安裝

• 通信支持：可能支持 TEL 專(zhuān)有通信協(xié)議

英文資料：

Product Name: 3281-000138-12 Control Board

Manufacturer: Tokyo Electron (TEL)

Product Type: Electronic Control Board Module

1、 Product Overview

The 3281-000138-12 control board is one of the control core components used in Tokyo electronic semiconductor equipment, mainly responsible for equipment logic control, signal processing, and communication coordination functions.

2、 Main functions

Control the operation process of equipment, such as switch control, action coordination, etc.

Receive and send digital/analog signals to achieve real-time control of on-site sensors and actuators.

Communicate with the upper system or main control computer to exchange status and parameter data.

Support device parameter setting, fault feedback, alarm linkage and other functions.

3、 Applicable equipment (may include)

TEL dry etching equipment

TEL PVD/CVD thin film deposition equipment

TEL coating and developing equipment (Coater/Developer)

TEL polishing equipment (such as CMP), etc

4、 Technical characteristics (reference for general control board)

Input voltage: commonly 24V DC

Interface types: RS-232, 485, digital IO, analog IO (depending on version)

Processor: Embedded controller or FPGA

Installation method: Rack mounted slot or independent fixed installation

Communication support: may support TEL proprietary communication protocol

2.產(chǎn)      品      展      示      

3.其他產(chǎn)品

ABB UN0942b-P 數字量擴展模塊

GE VMIVME-017807-414001 直流信號輸出模塊

KOLLMORGEN S22460-SRS 伺服驅動(dòng)器

4.其他英文產(chǎn)品

ABB 3DDE300417 Input/Output Board

GE IS210BPPBH2BMD Controller Module

KOLLMORGEN CP310250 PRD-P310250Z-55 serv

本篇文章出自瑞昌明盛自動(dòng)化設備有限公司官網(wǎng)，轉載請附上此鏈接:http://www.jiangxidcs