Tokyo Electron 3D81-000020-15印刷電路板 PDF資料
1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：
中文資料：
產(chǎn)品名稱(chēng)：
TEL Tokyo Electron 3D81-000020-15 印刷電路板（PCB）
產(chǎn)品類(lèi)型：
電子控制模塊 / 印刷電路板
主要應用領(lǐng)域：
半導體制造設備
用于 Tokyo Electron 旗下的半導體設備，如 CVD、Etcher、PVD 系統。
實(shí)現過(guò)程控制、數據采集、信號調度等功能。
晶圓處理系統
控制晶圓在傳輸、對準、搬運等環(huán)節的動(dòng)作。
支持設備精密控制與狀態(tài)反饋。
真空系統控制
應用于高真空環(huán)境的控制或監測電路中。
連接真空傳感器、MFC（質(zhì)量流量控制器）、加熱元件等部件。
I/O 控制與設備通信
擔當輸入輸出接口模塊，連接傳感器、執行器、馬達等元件。
負責數據交互與系統同步控制。
自動(dòng)化控制與安全管理
提供報警、溫控、連鎖等保護控制功能。
適配多種模塊協(xié)同工作，提升設備運行的穩定性和安全性。
英文資料：
Product Name:
TEL Tokyo Electron 3D81-000020-15 Printed Circuit Board (PCB)
Product type:
Electronic control module/printed circuit board
Main application areas:
Semiconductor Manufacturing Equipment
Used for semiconductor equipment under Tokyo Electron, such as CVD, Etcher, PVD systems.
Implement functions such as process control, data acquisition, and signal scheduling.
Wafer processing system
Control the actions of wafers during transportation, alignment, and handling.
Support precision control and status feedback of equipment.
Vacuum system control
Applied in control or monitoring circuits for high vacuum environments.
Connect components such as vacuum sensors, MFC (Mass Flow Controller), heating elements, etc.
I/O control and device communication
Serve as an input/output interface module, connecting sensors, actuators, motors, and other components.
Responsible for data exchange and system synchronization control.
Automation Control and Safety Management
Provide protection and control functions such as alarm, temperature control, and interlocking.
Adapt multiple modules to work together and improve the stability and safety of device operation.
2.產(chǎn) 品 展 示
3.其他產(chǎn)品
KOLLMORGEN AKM42E-EKGNR-01伺服電機
4.其他英文產(chǎn)品
ABB XVC768115 thyristor module
RADISYS 061-01450-0010 Network Adapter
| F43GCNA-R2-NS-NV-00 | 531X124MSDAJG2 | TRICONEX 4609 |
| EP3758-5151-7-56BC-CU | 531X124MSDAJG1 | 63-0050-02 |
| EP3752-5215-7-56BC-CU | 531X124MSDAHG2 | EPC-26-0-0 |
| EP3648-4952-7-56BC-CU | 531X124MSDAHG1 | EPC-16 |
| EP3644-5214-7-56BC-CU | 531X124MSDAGG2 | 8MC12 |
| EP3640-1436-7-56BC-CU | 531X124MSDAGG1 | 330730-040-00-00 |
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